时间: 2023-03-26 18:44:33 | 作者: 半岛体育彩票
跟着电子产品的使用越来越广泛，电子设备的需求量就会在不断的增加中，在半导体芯片出产的过程中不但会发生很多的工业污水并且还会发生具有污染性的工业废气，面临工厂发生的这部分工业废气应怎么处理，本文了解关于半导体芯片出产工业的废气处理设备。
半导体芯片加工厂的工业废气首要包含了硫酸雾、氟化物、氯化物、氯气、氨气、硫酸雾等的酸/碱废气以及氮氧化物、二氧化硫、非甲烷总烃等的有机废气，具有挥发性的VOCs以及酸碱废气首要来源于对芯片的清洗、均胶、去胶、刻蚀、显影过程中发生的，这部分的废气浓度小且排放量大。
半导体废气选用的是洗刷塔废气处理设备进行处理的，洗刷塔分为立式和卧式，这两者之间的差异就在于立式废气洗刷塔是气液两相逆流触摸，而卧式废气洗刷塔是气液两相穿插流触摸。
洗刷塔废气处理设备首要由循环水箱、循环水管路、除雾层、填料层以及塔体组成，设备的作业流程大致为：酸/碱性废气搜集→酸/碱式洗刷塔→离心风机→烟囱(合格排放)。
温馨提示：半导体工业废气需先通过预处理过滤设备进行大颗粒粉尘及杂质的去除才干进入沸石转轮吸附设备或者是TO直燃式热氧化焚烧炉进行后续的处理。